Измерительное оборудование

Автоматическая цифровая многоканальная система поддержания давления в вакуумной камере

Автоматическая система состоит из цифрового ионизационно-термопарного вакуумметра непрерывного диапазона измерения давления и с автоматической дегазацией датчиков и цифрового натекателя газа, содержащего 2 и более встроенных высокоточных регулятора расхода газа, оснащенных теплометрическими измерителями расхода газа.

• 
• 

Управление системой поддержания давления осуществляется и с клавиатуры, и дистанционно с персонального компьютера через сетевой интерфейс RS-485.

Система автоматически управляет расходом рабочих инертных и реактивных газов, к примеру, ионно-лучевых и магнетронных техпроцессов нанесения металлов, их оксидов, нитридов, карбонитридов, карбидов и прочих одним или несколькими распылителями в условиях воспроизводимости или постоянства мощности разрядов. Непрерывный диапазон давления — 100-10-5 Па, он подразумевает, что система может работать в нем без переключения пределов измерения.

Величина давления в вакуумной камере преобразуется датчиками вакуумметра в электрические сигналы. Они отправляются в усилители нормализации, а затем в контроллер, который в свою очередь отправляет обработанное должным образом значение давления на натекатель рабочих газов. Расход газов при этом поддерживается на таком уровне, чтобы при нанесении покрытий сохранялось значение давления в вакуумной камере и состав потока (соотношения газов), из которого непосредственно и формируется покрытие.

Одновременно на экран выводятся значения с ионизационного и термопарного датчиков.

Измеренное и заданное значения давления, расходы газов по каждому каналу, и заданная и измеренная пропорции потока газа отображаются на дисплее натекателя.